無需點(diǎn)、直線、圓等要素即可進(jìn)行自動判定。 尺寸顯示功能 可在測量圖上顯示參數(shù)、幾何偏差等實(shí)測量值。 形狀合成功能 合成功能解消了因測針角度而使分析范圍受限的問題 峰值谷值搜尋功能 可由測針軌跡檢測出工件的Z大點(diǎn)，容易進(jìn)行對準(zhǔn)。 計(jì)算點(diǎn)的重復(fù)功能 具有重復(fù)形狀的工件只需分析1個(gè)圖案便可以對整個(gè)工件進(jìn)行分析。 工件軌跡功能
通過演示·回放功能可以自動進(jìn)行從測量到采用數(shù)據(jù)粘貼制作檢查成績書等一系列操作。 Z高測量速度達(dá)20mm/s，Z大移動速度達(dá)60mm/s，速度如此之快大大提高了測量效率。
高精度的輪廓測量，Z方向1µm以下的測量。（變位5mm時(shí)） 自動要素判定功能（AI功能） 無需點(diǎn)、直線、圓等要素即可進(jìn)行自動判定。 尺寸顯示功能 可在測量圖上顯示參數(shù)、幾何偏差等實(shí)測值。 形狀合成功能 合成功能解消了因測針角度而使分析范圍受限的問題。
